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Dépôt des couches minces - BICTEL ULg

Par conséquent, il s'agissait, tout d'abord, d'adapter à nos besoins les processus de routine de technologies de micro-usinage existantes et, surtout, étant .... L' importance des contraintes intrinsèques est liée directement au procédé de fabrication : elle varie en fonction de la densité des impuretés et des défauts de la ...



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